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          洁净室检测大全

          洁净室检测之洁净度检测

           一、洁净室洁净度说明   

              洁净度检测是无尘室性能测试的核心,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响,因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕天博体育注册官网,其它测试对洁净度影响不大天博体育注册官网,或是属于其它环境测试天博体育注册官网。  

           二天博体育注册官网、洁净室洁净度检测仪器    

          洁净度检测使用微粒计数器,仪器须经校正合格且仍在有效期限内天博体育注册官网,交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格天博体育注册官网,zui常见的是流量 1cfm 天博体育注册官网天博体育注册官网,zui小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ,单位多是立方英呎天博体育注册官网天博体育注册官网。至于应使用何种设备天博体育注册官网,要依业主的规范而定。一般在产业界,多依以下方式选择微粒计数器天博体育注册官网。 Class 1000 或更高: 0.5μm       Class 100 : 0.3μm ,0.5um     Class 1 到 Class 10 :0.1μm    若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围天博体育注册官网,则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器天博体育注册官网,因此若是无尘室的洁净度是以 ISO 为基准天博体育注册官网,则要把结果作换算。单位换算,不影响上限的计算程序天博体育注册官网。     

           三天博体育注册官网、洁净室洁净度检测步骤:   

            (1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成天博体育注册官网,滤网之风速及泄漏测试均已完成,并已修换破损部分天博体育注册官网。  

            (2) 确认测试位置与测试点数。   

            (3) 取样时间:每点的取样时间依照等级与粒径不同而异天博体育注册官网,若取样时间小于一分钟,则以一分钟为准。

            (4) 测试位置应均匀分布在无尘室内天博体育注册官网,避免在产生大量粒子之附近,且将检测仪器以适当之架台支撑天博体育注册官网,不可以手持支撑。

            (5) 测量点数以公式计算(与 209E 相同)。

           四、洁净室洁净度检测验收标准:     

          洁净度的验收基准有二,首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净度的第二个验收基准就是,任一隔间若需使用信赖度上限分析,则该分析值也必须小于规定值。    

          五、洁净室检测之风速及平衡性测试    

          一天博体育注册官网、测试目的  

              气流是控制洁净度与温湿度的zui主要因素天博体育注册官网,它对噪音也有一些影响。因此风速测量天博体育注册官网,都是放在无尘室测试的*步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范天博体育注册官网,其次是确认气流的均匀度天博体育注册官网。在某些场合可能因现场的限制天博体育注册官网,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算天博体育注册官网。

          二、  单*向型无尘室,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要天博体育注册官网,只有均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。非单*向型无尘室天博体育注册官网,由于微?天博体育注册官网?刂频墓勰钍窍∈?,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要。但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。    

          三、使用仪器  

              洁净室里面使用的 HEPA/ULPA 滤网天博体育注册官网,其送出气流的速度多半都控制在 0.5m/s 以内,因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、式风速计。也可以使用多点式风速计如 Shortridge Velgrid 16 点风速计天博体育注册官网。轮叶式风速计因使用范围不同天博体育注册官网,通常不在无尘室内使用。式风速计( Hot Wire )虽然高频响应良好天博体育注册官网,但是低速时 < 0.5m/s 以下 > 准确性很低天博体育注册官网,因此不很适用天博体育注册官网,一般热反应风速计常用的是 Thermeister 式风速计天博体育注册官网。转轮式风速计由于本身重量问题,也不适用低速天博体育注册官网。 检量及平衡性测试天博体育注册官网。 产生压损,因此其形状很重要天博体育注册官网,应尽量使用原厂气罩天博体育注册官网天博体育注册官网。若有必要自行制造罩子天博体育注册官网,应注意气流顺畅并且做详细比对。气罩的校正非常重要天博体育注册官网,必须主机连同罩子一起校正,才能得到准确校正值天博体育注册官网。检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器天博体育注册官网,于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。   

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